Dokazano je, da so ultrazvočni brizgalni sistemi primerni za različne aplikacije, ki zahtevajo enotne in ponovljive fotoresistične ali poliimidne filmske prevleke. Z nadzorom debeline od submikrona na več kot 100 mikronov in zmožnost premaza poljubne oblike ali velikosti so nanosni sistemi izvedljiva alternativa drugim tehnikam prevleke, kot sta vrtljivo in tradicionalno škropljenje.
Skupne uporabe poliimidnih in fotoresističnih premazov vključujejo, vendar niso omejene na MEM, leče, mikrofluidne naprave, mikroelektroniko in filtre. Sistemi prevlekov so sposobni premazati ravne in 3D podlage, običajno vključujejo silikonske čips, steklo, keramiko in kovine.
Ultrazvočno brizganje je preprost, ekonomičen in ponovljiv postopek za fotoresistično in poliimidno prevleko. Ultrazvočni sistem prevleke lahko natančno nadzira hitrost pretoka, hitrost premaza in količino odlaganja z uporabo preprostih tehnik slojenja. Oblikovanje z nizko hitrostjo razprševanje definira atomizirano razpršilo kot natančen in nadzorovan vzorec, da se izognete pretiravanju in ustvarijo zelo tanke in enakomerne plasti.
Prednosti ultrazvočnega poliimida in fotoresističnih premazov:
1. Enotna filmska pokritost različnih površinskih kontur.
2. Visoka prilagodljivost v kemičnih in prevlečnih lastnostih.
3. Ne zamašitveno razprševanje.
4. visoka učinkovitost prenosa z minimalnimi odpadki.
5. Zelo ponovljiv postopek zrelega škropljenja.
Ultrazvočni razprševalni sistem uporablja visokofrekvenčno vibracijo zvoka za ustvarjanje mehke meglice, sestavljene iz matematično definiranih kapljic. Zamakanje se odpravlja, ker za ustvarjanje razpršila ni uporabljen tlak, kapljice pa imajo zelo ozko velikost porazdelitve kapljic, kar še dodatno prispeva k enakomernosti plasti nanašanja.
