Ultrazvočni sistem za razprševanje za fotorezist odporen premaz

Ultrazvočni razpršilni sistem za odporno prevleko s fotorezistom je alternativna metoda nanosu z vrtenjem. Raztopina fotorezista se z visoko-frekvenčnimi ultrazvočnimi vibracijami razprši v mikrometrsko tekočino, nato pa se kapljice fotorezista nanesejo na površino podlage, da tvorijo neprekinjen film fotorezista. Zato lahko pršenje pokrije celotno površino katere koli oblike substrata in zagotovi konformen premaz ne glede na topologijo.
Za brizganje fotorezista mora imeti fotorezist dovolj nizko viskoznost. Običajno bo pri viskoznosti nekaj cSt morda potrebno razredčiti fotorezist s topilom. Redčenje fotorezista lahko pospeši proces staranja fotorezista in tvori delce v mediju. Druga omejitev pršenja je, da je zaradi naključne porazdelitve kapljic, ki padajo na površino, težko oblikovati tanke filme, manjše od 1 µm. Za oblikovanje neprekinjenega tankega filma je potrebno doseči minimalno kritično gostoto kapljic fotorezista, kar poveča minimalno debelino filma in čas obdelave.

1. Proizvodnja polprevodnikov: Med postopkom izdelave čipov lahko ultrazvočno brizganje fotorezista izboljša natančnost postopka fotolitografije.
2. Mikro nano obdelava: Natančna fotorezistna prevleka je ključnega pomena pri izdelavi mikrostruktur in nanostruktur.

Priljubljena oznake: ultrazvočni atomizacijski razpršilni sistem za fotorezist odporen premaz, Kitajska ultrazvočni atomizacijski pršilni sistem za fotorezist odporen premaz proizvajalci, dobavitelji, tovarna