Posebna prevleka zaščitne folije z ultrazvočnim brizganjem pred rezanjem silikonskih rezin

 

 

 

Ultrazvočno pršenje posebnega premaza zaščitne folije pred rezanjem silicijeve rezine se je izkazalo za zanesljivo, ponovljivo in učinkovito metodo za nanašanje različnih kemikalij na silicij pred rezanjem, brušenjem in poliranjem za zaščito rezine in izboklin. Pogoste kemične snovi vključujejo Z-Coat, PMMA in druge zlahka odstranljive kemikalije. FUNSONIC-ov sistem šob je mogoče prilagoditi za izpolnjevanje specifičnih zahtev strank glede premazov in izzivov za zaščitne folije pred rezanjem silikonskih rezin.
Posebno prevleko zaščitne folije z ultrazvočnim brizganjem pred rezanjem silicijeve rezine je mogoče nanesti na poljubno obliko ali velikost z nadzorom debeline od submikronskih do več kot 100 mikronov. Sistem premazovanja je izvedljiva alternativa drugim tehnologijam premazovanja, kot sta rotacijsko in tradicionalno pršenje.

 

 

 

 

 

Ultrazvočne šobe imajo pomembno vlogo pri obdelavi fotolitografije. Proizvajalci polprevodnikov uporabljajo tehnologijo ultrazvočnega razprševanja za razprševanje razvijalca fotorezista na podlage čipov iz silicija in galijevega arzenida, ki je kemična snov, ki lahko prikaže optična koračna slikovna vezja. Postopek pršenja vključuje vstavljanje šobe nad čip in nato krmiljenje ultrazvočne šobe prek tri-osi XYZ in servo motorja za enakomerno porazdelitev premaza. Ker je pršenje ultrazvočne šobe nežno in neprekinjeno, lahko izboljša kemično aktivnost, izboljša učinkovitost razvoja ter zmanjša odboj in materialne odpadke. Podatki kažejo, da lahko tehnologija ultrazvočnega brizganja prihrani do 70 % materialov in izboljša nadzor kritičnih dimenzij.
V primerjavi z običajnim centrifugalnim premazom je prednost ultrazvočnih šob v tem, da lahko bolj enakomerno porazdelijo snovi in ​​zmanjšajo odvisnost porazdelitve tekočine od napetosti tal. Tradicionalno centrifugiranje vključuje nanašanje snovi v obliki luže ali potoka na element čipa in nato razpršitev po tleh s pomočjo centrifugalne sile. Ta način zahteva posebno manipulacijo temperature in polnjenja izhlapevanja topila, da se zagotovi celovitost in enakomernost prevleke. Ultrazvočne šobe na drugi strani razpršijo tkanino na celotno dno čipa, da ustvarijo ne-stop tanki film. Na ta način ni treba upoštevati izhlapevanja topil in površinskih sil, prav tako ne bo škropljenja ali odlaganja na zadnji strani.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Priljubljena oznake: ultrazvočno brizganje posebnega premaza zaščitne folije pred rezanjem silicijevih rezin, Kitajska ultrazvočno brizganje posebnega premaza zaščitne folije pred rezanjem silicijevih rezin proizvajalci, dobavitelji, tovarna