Šole za razprševanje uporabljajo zrak/plin z nizkim tlakom za izdelavo enotnih, širokih vzorcev razpršil, pri čemer je vsaka šoba, ki je sposobna do 9,8 palca (25 centimetrov), odvisno od razdalje od podlage. Hitrost pretoka zraka je mogoče nadzorovati, da se omogoči majhen ali velik vpliv atomiziranega razpršila na izdelek ali substrat. Več šob, povezanih v seriji, lahko doseže neskončno širino. Oblikovanje šobe za razprševanje se uporablja za zelo ponovljive široke vzorce v vitkih šobah.
Ultrazvočna šoba tipa razprševanja je ultrazvočna atomizirana šoba s ciklonskim stožcem. Uporablja ultrazvočno tehnologijo šobe za atomizacijo in s posebnim oblikovanjem kanala vrtinčnega pretoka se nosilni plin pretvori v enakomeren vrteči se pretok zraka, tako da se ultrazvočna atomizacija tekoče meglice razprši v obliki razpršila ciklona, širi razpršilo območje atomizatorja. Ultrazvočne šobe se lahko razpršijo tudi na navpičnih ali ukrivljenih površinah in drugih kotnih podlagah.
Tipična uporaba razprševanja ultrazvočnih šob je fotoresistična prevleka na polprevodniških čipih, kjer se fotoresist razprši na polprevodniške čipe. Zaradi rotacijskega razprševanja megle, ki jo oddaja ultrazvočna šoba tipa razprševanja, se lahko enoten fotoresistični film tvori ne le na ravnini rezin, temveč tudi na bočnih stenah in vogalih mikrostrukture rezin. Poleg tega lahko ultrazvočna šoba razprševanja uporabimo tudi za tanke filmske sončne celične prevleke, kalcijeve sončne celične prevleke, prevleke za prenos AR in refleksij, prevleke s toplotnimi izolacijskimi filmi, superhidrofobne prevleke za prevleke, prevleke s pretokom PCB in druge uporabe.
Načelo:
Ultrazvočne šobe pretvorijo visokofrekvenčne zvočne valove v mehansko energijo s piezoelektričnimi pretvorniki in nato mehansko energijo pretvorijo v tekočino. Ta vzdolžna vibracija navzgor in navzdol ustvarja stoječe valove v tekočem filmu na konici ultrazvočne šobe, kjer lahko amplitudo teh valov nadzoruje generator moči. Ti stacionarni tekoči valovi se lahko raztezajo navzgor od vrha ultrazvočne šobe, in ko kapljice zapustijo atomizirajočo površino šobe, se razgradijo v enakomerno fino meglo kapljic velikosti mikrometra.
Za razliko od tlačnih šob, ultrazvočne šobe ne uporabljajo visokega tlaka, da bi prisilili tekočino skozi majhno luknjo za proizvodnjo razpršila. Tekočina vstopi skozi razmeroma veliko središče šobe brez tlaka in je razpršena z ultrazvočno vibracijo znotraj šobe.
Vsaka ultrazvočna šoba deluje s specifično resonančno frekvenco, ki določa srednjo velikost kapljice. Razlika v velikosti kapljic je zelo majhna, njegovo porazdelitev pa lahko natančno predvidimo v določenem območju z matematičnimi izračuni. Na primer, 120 kHz šoba ustvari srednjo velikost kapljic 18 mikronov pri razprševanju vode. Večja je frekvenca, manjša je zmanjšanje srednje vrednosti.
Prednost:
1. Veliko površinsko razprševanje, širina škropljenja: 40-150 mm
2. Coating uniformity:>95% enotnost
3. Prihranite surovine: Stopnja uporabe surovin je nad 85%, kar je štirikrat več kot pri tradicionalnem dveh brizganju tekočine
4. Pripravimo lahko visoko natančnost nadzora nad prevleko: 20 nm do več deset mikrometrov prevleke z natančnim nadzorom debeline prevleke
5. fini atomizirani delci
6. Enakomerno atomizirani delci
7. lahko razpršimo občasno ali neprekinjeno
8. ultra nizko razpršilno pretok
9. Šobe ne bo blokiral
10. Šoba proti koroziji
11. Razprševanje z visoko natančnostjo
