Ultrazvočno brizganje je preprost, ekonomičen in ponovljiv postopek za fotoresistične in poliimidne prevleke. Ultrazvočni sistem premaza lahko uporablja preproste tehnike slojenja za fino krmiljenje pretoka, hitrost premaza in količino odlaganja.
Ultrazvočna tehnologija škropljenja se uporablja za polprevodniške fotoresistične prevleke. V primerjavi s tradicionalnimi postopki predenja in impregnacijskih premazov ima prednosti visoke enakomernosti, dobre mikrostrukture in nadzorovanega območja premaza. V zadnjem desetletju je bila v celoti prikazana uporaba tridimenzionalnih mikrostrukturnih fotoresističnih premazov. Postopek priprave fotoresističnih premazov z ultrazvočnim brizganjem z atomizacijo je bistveno boljši od tradicionalnih predilnih premazov glede na mikrostrukturno embalažo in enakomernost.
Ultrazvočni sistem za brizganje lahko natančno nadzira hitrost pretoka, hitrost premaza in usedeljivo glasnost. Oblikovanje z nizko hitrostjo razprševanje definira razpršilec kot natančen in nadzorovan vzorec, da se prepreči prekomerno razprševanje pri proizvodnji zelo tankih in enakomernih plasti. Ta ultrazvočni razpršilni sistem lahko nadzoruje debelino od pod mikrona do več kot 100 mikronov in lahko pokrije katero koli obliko ali velikost.
Značilnosti tehnologije ultrazvočne prevleke za fotoresist:
◆ Enotno filmsko pokrivanje različnih površinskih obrisov
◆ Nepri stik
◆ Mikro pretok zraka, več shem hranjenja tekočine
◆ Natančnost visoke hitrosti
◆ Visoka hitrost uporabe tekočine
◆ Visoka prilagodljivost v kemični in premajhni zmogljivosti
◆ Visoka učinkovitost prenosa in minimalni odpadki
◆ Ponovitveni postopek zrelega škropljenja